螺杆型干泵ULVAC/日本爱发科，‌“Model:MS“是螺杆型干式真空泵。在传统的“Model:LS“的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

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