ULVAC爱发科脉冲和直流电源系统DC-30-44H配备出色的 ARC 功能的操作应用

ULVAC爱发科脉冲和直流电源系统DC-30-44H配备出色的 ARC 功能的操作应用

等离子体发生电源或成膜电源是一种通过在电极之间施加电压来产生等离子体的装置。利用这项技术，可以PVD（如溅射）、CVD、刻蚀和灰化等真空工艺。这些工艺可在基板等被镀物上形成或去除薄膜，从而创造新的附加价值。该技术已广泛应用于我们日常生活中的各种产品。

通过形成各种薄膜可以创造附加价值，这些薄膜被应用于我们日常生活中常见的产品。相关行业广泛，涵盖半导体、电子设备、显示器、可再生能源、存储设备和汽车等多个领域。在成膜过程中，选择合适的薄膜材料和比较重要。此外，考虑到生产效率和质量，选择适当的电源也是一个重要因素。

成膜工艺包括PVD（如溅射）、CVD、刻蚀和灰化等，每种工艺都需要配备合适的电源。根据所采用的工艺和薄膜类型，所需的电源可能有所不同。因此，充分了解每种电源的特点，并根据目标选择合适的电源显得比较重要。

例如，在需要高精度薄膜或应对大规模生产时，使用满足特定要求的电源。此外，组合使用多种电源也是常见做法，这通常结合了各公司的技术经验。这里介绍的工艺与电源的对比表仅作为一般参考资料，并未涵盖所有工艺和应用。根据具体用途，慎重选择适合的电源比较重要。

特点

轻巧且节省空间的设计

提供 800V 和 1000V 输出电压范围（仅限 10/20kW 产品）

对等离子体有深入的了解，进行输出控制

强制风冷系统不需要冷却水

配备的 ARC 功能和高速 ARC 切断电路

可并联 12 台 （240kW） （仅限 10/20kW 产品）

符合 CE、SEMI F47 和 RoHS（不包括 DCS 和 400V 规格）