对向式离心干燥机 H840SA 日本kokusan科库森的操作使用

对向式离心干燥机 H840SA 日本kokusan科库森的操作使用

特点与用途

该设备在半导体行业中作为晶圆干燥设备有着良好的良好记录。

离心力和气流会清洗并排出工件。

摇篮由升降机构自动升起。

主要规格

电源：交流电200V 3φ 50/60Hz 15A

驱动空气：0.5Mpa（5公斤/厘米）2)

允许载荷能力：每个托盘的载重能力在2000克以内

ULPA滤波器：是的

离子器：是的

控制：PLC与逆变器

运营部门：按钮开关

转速：1000转/分钟（正常速度800转/分钟）

发动机：逆变电机

尺寸：800（W）×990（D）×1004（H）毫米

盖开时高度：1528（H）毫米

重量：180公斤