ULVAC/日本爱发科多级罗茨型干泵，‌“Model:MS“是螺杆型干式真空泵。在传统的“Model:LS“的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

ULVAC/日本爱发科多级罗茨型干泵

ULVAC/日本爱发科多级罗茨型干泵

真空泵是一种从密封空间排出气体以产生低于大气压的压力的机器。真空泵有多种类型，具体取决于抽气机构和抽气速度。有必要根据目的和用途正确使用它们。

1×105Pa～1×102Pa的范围称为低真空，1×101Pa～1×10-1Pa的范围称为中真空。"Model:MS"是螺杆型干式真空泵。在传统的"Model:LS"的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

*1：到达压力时

*2：At ultimate pressure (reference only)

*3：Purge gas使用时的水蒸气处理量

*4：Including a silencer

特点

通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。

采用ULVAC设计的转子轴，高性能的排粉。

从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

用途

半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。

真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。

锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。