ULVAC/日本爱发科多级罗茨型干泵可高吞吐量，‌“Model:MS“是螺杆型干式真空泵。在传统的“Model:LS“的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

空冷式罗茨型干泵ULVAC/日本爱发科，‌干泵“Model:CR“VerB是获得标准（CE,cTUVus）的空冷式罗茨型干泵。排气室内不使用真空油，因转子和汽缸是不接触的，可长时间稳定运转。

空冷式罗茨型干泵ULVAC/日本爱发科，‌“Model:MS“是螺杆型干式真空泵。在传统的“Model:LS“的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

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多级罗茨型干泵空冷式ULVAC/日本爱发科，‌“Model:MS“是螺杆型干式真空泵。在传统的“Model:LS“的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

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大排气量多级罗茨型干泵ULVAC/日本爱发科，“Model:MS“是螺杆型干式真空泵。在传统的“Model:LS“的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。