到货！无需差分泵！爱发科 Qulee CGM2 残余气体分析仪，溅射在线监测利器

今日到货！无需差分泵！爱发科 Qulee CGM2 残余气体分析仪，PVD 溅射在线监测利器

在半导体、光学、光伏、显示行业的 PVD 溅射产线中，腔体水汽、空气泄漏、真空泵油挥发杂质，是造成镀膜膜层缺陷、良率下降的重要元凶。传统残余气体分析仪 RGA 大多需要配套复杂的差分排气系统，设备体积大、集成成本高，很难适配量产溅射机台≤1Pa 的工艺压力工况。

来自日本爱发科 ULVAC 的Qulee CGM2 紧凑型过程气体监测仪（残余气体分析仪 RGA），专门针对溅射工艺开发，省去差分泵单元，探头可直接接入 1Pa 以内工艺腔体，真空腔体气体组分实时在线监控，已经大量配套国内外磁控溅射、ITO 镀膜量产设备。

核心产品亮点

无需差分泵，机台集成简单

普通 RGA 搭配差分分子泵才能应对工艺压力，CGM2 探头直接接入溅射腔体，省去整套差分排气硬件，设备体积小巧，方便安装在量产镀膜机台侧面，降低设备改造成本。

机身自带显示屏，脱离电脑也能工作

设备本体自带数码显示面板，不连接电脑，就可以完成检漏、残余水分快速检测；搭配 QCS 专业分析软件（Windows 系统），以太网通讯，可同时联机 16 台设备，适合工厂多机台集中管理。

一键检漏，保护灯丝延长耗使用时间

内置 He、H₂O、N₂、O₂一键检漏程序，快速识别腔体漏气、水分超标；自带总压力测量，压力超标自动关闭灯丝，避免离子源灯丝烧毁；支持离子源电子轰击脱气；整机连接状态高 120℃烘烤，探头拆卸后高 250℃高温除气，去除探头表面污染物。

可检测对象

✅ 腔体残余水汽 H₂O、空气泄漏 N₂/O₂、氩气工艺气体纯度监控

✅ 真空泵油挥发烃类、硅氧烷、导热油泄漏、清洗剂残留、冷媒挥发物

❌ 不支持 F/Cl 系腐蚀性工艺气体