日本 FLUORO福乐 M/E 系列 机械式晶圆镊子 无需真空泵、无需气管气源

日本 FLUORO福乐 M/E 系列 机械式晶圆镊子 无需真空泵、无需气管气源

> 无需真空泵、无需气管气源，纯机械夹持，干法无尘室专用，只夹持晶圆外缘，不触碰器件图形面，用来短距离手动转运硅片、化合物基板。

系列区分

M 系列（普通绝缘款）

1. M100 ｜ PEEK 材质（米黄色）

耐热高 130℃，强度高、低析出，百级无尘室；适合普通硅片、基板，无防静电需求的工位。

> 常用型号：M100‑100（4 寸）、M100‑125（5 寸）、M100‑150（6 寸）、M100‑200（8 寸）、M100‑300（12 寸）。

2. M110 ｜ PPS 材质

性价比版本，性能略低于 PEEK，实验室取样、外观检测使用。

> 后缀带 ‑L：杠杆锁止版本，夹紧后锁定，不用一直手捏，长距离搬运，缓解手部疲劳，例 M100‑150L。

E 系列（ESD 防静电款，黑色导电 PEEK）

E100 系列：导电 PEEK，表面电阻 10⁶‑10⁸Ω，释放静电，保护 SiC/GaN、CMOS 等静电敏感晶圆裸片。

> 常用型号：E100‑100、E100‑150、E100‑150L（L 代表杠杆锁）。

核心结构特点

1. 两点外缘夹持：镊头只夹住晶圆侧边，避开正面图形膜层，避免划伤芯片电路；接触面光学抛光，减少粉尘颗粒产生。

2. 全塑料无金属、无胶水，不会析出金属离子污染晶圆，满足 Class100 百级无尘室要求。

3. 内置限位挡块，防止晶圆滑脱掉落。

4. 两种操作形态：

- 普通款：手捏夹紧，松手释放，适合快速取样；

- L 杠杆锁款：夹紧后锁死，单手可松开，适合长距离转移。

适用 & 禁忌

✅适用：干法无尘环境，涂布后晶圆取样、外观检查、实验室小试转运、中试简易上片。

> 适配整套小试链路：KPI 设备制备试样 → M/E 镊子拿取晶圆 → SANKO 三高测厚仪检测膜厚。

❌禁止：不能浸入酸碱药液槽，PEEK/PPS 不耐强腐蚀；湿法场景优先选用 F 系列真空吸笔。