HEPA 防护 日本 FLUORO 福乐 FV 系列无油隔膜真空泵，无尘室洁净真空源

HEPA 防护 日本 FLUORO 福乐 FV 系列无油隔膜真空泵，无尘室洁净真空源

半导体无尘车间、光学精密组装工位，普通真空泵常常带来两类风险：油封泵的油雾挥发污染晶圆基板；干式泵本体磨损产生微颗粒反向污染工件。日本 FLUORO（福乐）FV 系列无油隔膜真空泵，把进气 + 排气双向 HEPA 滤芯集成到机身内部，无油干式 + ESD 防静电，专门面向 Class100‑1000 洁净环境，是晶圆、芯片手动拾取、实验室精密处理的小型真空气源。

一、核心产品技术特点

1. 无油隔膜电磁驱动结构

整机采用电磁直驱隔膜结构，泵腔内部不添加润滑油，从避免油雾、油气回流污染风险。隔膜表面 PTFE 特氟龙涂层，耐受乙醇、丙酮、弱酸弱碱蒸汽；内部无齿轮摩擦部件，支持 24 小时不间断连续运行，设计使用 8760 小时以上。不需要空压机、储气罐，接通市电即可输出稳定负压，桌面摆放或者嵌入设备内部都可以。

2. 机身内置双向 HEPA 高效滤芯

进气口、排气口双位置内置 HEPA 滤芯，针对 0.3μm 微粒过滤效率 99.97%。

- 进气侧 HEPA：拦截粉尘、液滴杂质，保护隔膜与阀片，避免异物损坏泵体；

- 排气侧 HEPA：阻隔泵体隔膜磨损产生微碎屑，防止颗粒物排到洁净室内造成二次污染；

- 机身配置透明观察视窗，无需拆机，肉眼直接观察滤芯脏污程度，方便确定更换周期。

> 注：入门型号 FV‑10 不配备 HEPA 与观察视窗，FV‑30/FV‑60/FV‑XP/FV‑W 均标配双向 HEPA 滤芯。

3. ESD 防静电整机设计

外壳采用导电尼龙防静电材质，预留接地端子，可完整构建防静电真空管路系统，搭配 FLUORO 防静电吸笔、导电软管使用，泄放静电，规避静电击穿裸芯片、薄晶圆风险，适配半导体敏感器件作业。

4. 小型低功耗、低噪音

整机体积小巧，重量仅 800‑1400g；功耗 5‑12W，运行噪音低。负压可以无级调节，吸力柔和可控，既可以抓取微小芯片，也可以吸附整片硅片，避免薄片工件压伤、吸附脱落。