日本 FLUORO 福乐 901 便携式真空测漏仪 防静电无尘室适配

型号：901，专为半导体无尘车间开发，配套 FLUORO FV 系列无油真空泵、真空吸笔，用于快速检测吸笔、吸嘴、真空管路、接头的微小真空泄漏，是晶圆转运工位的配套点检工具。

一、产品基本参数

型号：901 便携式真空测漏仪

外形尺寸：120 × 60 × 45 mm

整机重量：350g，掌心大小，可手持携带，也可放置操作台，收纳于工具包，适合车间巡检点检。

主体材质：导电 MC 尼龙（防静电）；吸笔卡槽为耐磨 PPS 工程塑料，适配 ISO5‑ISO7 无尘车间，避免静电击穿晶圆、裸芯片。

结构配置：带透明防尘翻盖，保护真空压力表，防尘防潮；翻盖打开可读表，闭合保护仪表。

检测原理：内置高精度真空压力表，接入负压，观察压力表指针稳定性，判定是否存在微泄漏。

二、核心产品特点

防静电无尘室适配，整机导电材质，完整静电泄放，千级 / 万级无尘车间直接使用；不会产生静电累积，不会损伤硅片、SiC 衬底、裸芯片静电敏感器件。

便携快速点检，无需电源，机械式真空表，不需要供电；现场直接检测真空吸笔、吸盘吸嘴、软管、接头的微漏气。

操作：把真空吸笔头部卡入仪器卡槽，接入负压，指针稳定不动 = 密封完好；指针缓慢回落 = 存在漏气。快速定位吸嘴老化、密封圈破损、管路接头松动故障。

和 FLUORO 整套真空系统匹配，与 FV‑30、FV‑60、FV‑W 真空泵、C/F 系列真空吸笔成套使用。

现场痛点：吸嘴磨损、密封圈老化会发生微泄漏，导致晶圆吸附不稳，发生掉片碎片；901 测漏仪用于日常点检，提前排查隐患，减少晶圆报废。

轻量化，车间现场实用性强，体积小巧，机台旁就地检测，不用送至实验室；产线交接班、设备维护、换吸嘴之后都可以快速做密封性确认。

三、半导体行业应用场景

晶圆手动搬运工位点检，4‑12 寸硅晶圆、SiC 碳化硅、GaN 化合物半导体衬底，真空吸笔更换吸盘、更换密封圈后做密封性检测。

封测车间，QFN、BGA 裸芯片拾取吸笔、导电软管、接头定期检漏，防止吸附力不足造成芯片掉落损伤。

实验室、探针台、显微镜工位，小型真空系统日常维护点检，排查管路微漏。来料检测，新采购真空吸笔、吸盘入库前密封性验收。

四、标准操作流程

将待测真空吸笔卡入仪器卡槽；

将测漏仪接口连接 FV 系列真空泵负压口；

启动真空泵，读取压力表；

✅指针稳定保持负压：无泄漏，设备正常可用；

❌指针持续缓慢回落：存在漏气，排查吸嘴、密封圈、管路接头。

五、成套搭配方案

完整真空拾取系统配置清单

FV‑30 / FV‑60 / FV‑W 内置 HEPA 无油真空泵

C 系列（干态）/F 系列（湿法）真空吸笔

对应尺寸导电吸盘吸嘴（消耗件）

防静电真空软管

901 便携式真空测漏仪（点检维护）