FLUORO福乐 半导体硅晶片真空吸笔 C001‑X‑95‑CP 的操作应用

FLUORO福乐 半导体硅晶片真空吸笔 C001‑X‑95‑CP  F001‑Z‑02‑VP的操作应用

FLUORO 晶圆真空吸笔分为两大主力系列：C 系列防静电导电吸笔（无尘干燥工位）、F 系列 PTFE 特氟龙耐药液吸笔（湿法清洗 / 蚀刻工位），全部模块化，笔身 + 可更换吸嘴，适配 2‑12 英寸硅片、碳化硅晶圆，和 FV‑30/FV‑60/FV‑W 真空泵配套使用。

一、C 系列：防静电导电真空吸笔（黑色导电尼龙，干燥无尘室）

适用：探针台、划片、贴膜、封装、晶圆检验，干燥环境，不能浸泡药液；笔身导电尼龙，吸嘴导电 PEEK，ESD 防护，Class100‑1000 无尘室可用。

阀体阀型定义

- C001：NC 常闭，按下吸附，松开释放（点动）

- C002：NO 常开，接上真空泵持续吸附

- C003：NO+SW，带自锁开关，按下锁定吸附，再按解除

> 后缀：X = 万向旋转接头；Y = 直柄固定接头；末尾`9x‑CP`代表导电 PEEK 吸嘴，数字代表适配晶圆尺寸。

二、F 系列：PTFE 特氟龙耐化学真空吸笔（白色，湿法工艺）

> 整机 PTFE 特氟龙，可以接触强酸、强碱、蚀刻液、显影液；用于清洗槽、蚀刻槽晶圆捞取转移。

> 吸嘴材质：

- `3F`：PCTFE 特氟龙；`PK`：PEEK；`VP`：Vespel 聚酰亚胺高耐磨；

接头：X 万向旋转；Z 直柄固定。

F001（NC 常闭：按住吸，松开释放，点动）

- F001‑Z‑02‑VP：5 寸硅片，直柄，湿法点动取片

- F001‑X‑06‑PK：6 寸硅片，万向接头，清洗槽取片

F002（NO 常开：接上真空泵持续吸附）

- F002‑Z‑05‑PK：6 寸晶圆，腐蚀工序连续搬运

- F002‑X‑08‑VP：8 寸湿法，万向角度调节

F003（NO+SW 自锁开关：锁定吸附，不用一直按着）

- F003‑X‑06‑VP：6 寸湿法清洗蚀刻工位，万向接头