ULVAC爱发科日本优选高频电源系统EXO-13的操作说明

ULVAC爱发科日本优选高频电源系统EXO-13的操作说明

该装置设计为高频电源的外部振荡器源。它能够输出13.56MHz的单个频率的额定信号。此外,本机配备 1~4 个 BNC 输出端口,可为 4 个电源进行同相高频振荡。*所连接电源的外部输入端子必须端接至50Ω,并且必须能够在10mW至100mW的距离内工作。

特点

多达四个RF电源可以同步相位。

通过相位簇功能，低成本。

规格

Model：EXO-13

输入规格：输入电压单相AC100V

输入电容：1VA 或更低

输出规格：振荡频率13.56MHz±0.05%

尺寸（W×D×H）：不包含突起145×110×44 （mm）