日本原装ULVAC爱发科分光椭偏仪1500A的操作说明

日本原装ULVAC爱发科分光椭偏仪1500A的操作说明

"Model:UNECS"是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用测量方式，高速测量和机体的小型化。UNECS-1500A采用自动R-θ平台和自动对焦功能，可快速自动测量整个φ150mm样品表面的膜厚，并以彩色图显示膜厚分布。

特点

高速测定：快照方法可高达20 ms的高速测量。

适用于可见光谱：波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。

紧凑型传感器单元：光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。

150mm自动载物台：配备兼容φ150mm的R-θ自动载物台，并具备自动对焦功能，可基板表面的自动映射测量。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量。