ULVAC爱发科日本到货全新高频电源系统EXN2T-40A的操作使用

ULVAC爱发科日本到货全新高频电源系统EXN2T-40A的操作使用

EXN 系列是目标切换器，可用于切换多个直流溅射电极和 RF 溅射电极的电源目的地，或将多个直流电源或 RF 电源的输出切换到单个电极

特点

可以切换匹配框的输出。

由于不需要为每个阴极安装匹配的盒子，因此为降低设备成本做出了贡献。

有两种类型的开关方法可供选择：手动和电机驱动。 我们还准备了可以处理更高功率的水冷系统。

它还可以用作直流电源和直流脉冲电源输出的开关装置。

由于只有一个匹配框，因此超出匹配范围的载荷不能相互使用。

优势品牌：

USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤，INTECS，RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等