新品到货！ULVAC 爱发科 LS120A 螺杆干式真空泵

在半导体溅射、蒸镀、晶圆键合、Load Lock 预抽工艺中，油气污染一直是制约良率提升的痛点，日本 ULVAC 爱发科 LS120A 螺杆干式真空泵，是日系洁净干泵里普及率很高的一款机型，主打无油排气、低能耗、宽压强连续运行，大量配套在国内半导体、光学镀膜、FPD 产线当中。

很多设备工程师选型干式真空泵时经常踩坑：普通干泵在大气压附近抽速衰减明显，预抽时间长，拖慢整腔节拍；部分国产干泵长时间连续运转温升偏高，噪音大，粉尘、微量水汽工况下转子容易腐蚀。LS120A 搭载爱发科自研 ECO-SHOCK 节能技术，在常压区间依旧维持较高抽速，缩短腔体抽气时间，同时内置消音结构，运行噪音控制在 61dB (A) 以内，无尘车间使用对周边检测工位干扰小。

这款机型分为 C 洁净型与 L 轻腐蚀型两个版本，C 型适配氮气、空气这类干净气体，适合溅射腔、分子泵前级、晶圆载入锁；L 型转子表面做特殊防护涂层，可应对少量水汽、有机挥发物，适合去胶、灰化、真空干燥等工况。整机从常压一直到极限真空都支持不间断连续运行，不需要频繁启停，匹配 24 小时量产产线节奏。

螺杆转子采用精密同步齿轮传动，无接触式结构，不会产生润滑油回流污染腔体，从根源规避油污染薄膜、晶圆表面的风险，这也是镀膜、半导体工艺优先选用干式螺杆泵替代传统油旋片泵的核心原因。配套齐全的传感器组，可以实时监测温度、振动、负载电流，接入产线 PLC，故障预警，避免突然停机造成批量工件报废。

对比同级别罗茨干泵，LS120A 单台集成度高，不需要额外搭配罗茨机组，占地面积更小，方便设备集成商机架布局；对比欧美同规格干泵，配件供应链在国内更加成熟，维保周期可控。很多真空系统集成商在搭建中小型洁净真空机组时，都会把 LS120A 作为基准选型方案。

选型提醒：LS120A 不适合大量强酸、高浓度粉尘的重腐蚀工况，这类场景需要升级 MS 防腐螺杆干泵；采购时确认版本（C/L）、供电规格、排气接口；如果腔体抽气需求大，可以向上选型 LS300A、LS600A。