近期到货！ULVAC 爱发科 SH200-E 热阴极电离真空计｜EtherCAT 总线

高真空镀膜、电子束蒸发、分子泵机组、质谱分析设备，对真空压力检测精度、实时通信能力要求严苛，ULVAC 爱发科 SH200-E 热阴极电离真空计，是 G-TRAN 系列面向自动化产线推出的总线款真空测量主机，专门用于高真空、超高真空区间压力采集与工艺闭环控制。

传统电离真空计大多只有模拟量或者 RS232 串口，布线繁琐，信号容易受车间电磁干扰，多腔体真空系统布线杂乱，上位机同步采集延迟高，很难融入现代半导体产线的实时总线架构。SH200-E 搭载 EtherCAT 工业总线接口，高速同步传输真空数据，可以直接接入设备运动控制系统，真空压力连锁、工艺配方联动，满足半导体、光学镀膜设备的自动化需求。

SH200-E 可以搭配 M-44、M-45、M-46 多款电离传感器探头，覆盖 NW16、NW25、ICF070 多种真空法兰规格，方便适配不同腔体接口。测量区间覆盖高真空至超高真空，长期测量漂移小，适合长时间稳态工艺监测；同时自带灯丝保护逻辑，压力超标时自动切断灯丝，避免离子灯丝快速烧损，降低耗材更换成本。

很多研发实验室、光学蒸镀设备之前使用分体式真空计，主机、传感器、显示单元分散，调试麻烦。SH200-E 一体化设计，支持多探头接入切换，一台主机管理多个真空测点，减少仪表数量，简化控制柜布局。在电子显微镜、真空分析仪器、光学薄膜蒸镀、化合物半导体沉积设备中，这款总线型电离计应用越来越广泛。

和同系列 SH200-A（模拟输出）、SH200-R（RS232）对比，SH200-E 的核心优势就是 EtherCAT 实时总线，适合自动化量产设备；如果只是实验室手动记录、简易真空台，模拟版本性价比高。爱发科 G-TRAN 系列真空计的一大特点就是探头可单独更换校准，不需要整机返厂，大幅缩短停机校准周期。

使用要点：电离真空计必须在高真空区间开启灯丝，不能在粗真空下长时间点亮；传感器安装位置避开气流直冲、镀膜飞溅区域，防止薄膜沉积覆盖栅极，造成测量失真；定期按原厂标准做比对校准，保证工艺数据可追溯。