日本 ULVAC 爱发科 UTM1200A/UTM1600A 一体化涡轮分子泵 新品到货！

日本 ULVAC 爱发科 UTM1200A/UTM1600A 一体化涡轮分子泵 新品到货！

油扩散泵存在返油污染、维护繁琐等痛点，在薄膜沉积、精密分析设备中逐步被磁浮涡轮分子泵替代。日本 ULVAC 爱发科 UTM-MI 系列 UTM1200A、UTM1600A，是控制器一体化磁悬浮涡轮分子泵，省去独立驱动单元，简化真空系统集成，是洁净高真空工艺主抽设备。

✅UTM1200A / UTM1600A 核心技术参数

- 型号：UTM1200A、UTM1600A（UTM-MI 一体化磁浮分子泵）

- 氮气抽速：UTM1200A 为 1030L/s；UTM1600A 为 1400L/s

- 极限真空：烘烤后可达 10⁻⁷Pa 高真空

- 进气法兰：UTM1200A VG150/ISO160F；UTM1600A VG200/ISO200F；排气口统一 KF40

- 轴承结构：上部磁悬浮轴承 + 下部止推轴承，高速旋转无机械接触，无油脂

- 转速调节范围：25%～100% 连续可调，可精准控制腔体真空压力

- 冷却方式：水冷

- 供电：三相 AC200-240V 50/60Hz

- 结构亮点：泵体 + 驱动控制器一体化，减少配线，节省设备机柜空间；任意方向安装，不受垂直安装限制

✅产品核心优势

1. 磁浮无油设计，真空洁净，不存在润滑油返流污染腔体，保障薄膜、半导体工艺品质，无油维护，无需定期更换轴承油脂。

2. 泵与控制器一体化，省去泵与控制器之间复杂接线，缩短设备装配调试周期，设备集成商青睐。

3. 安装方向自由，腔体布局设计自由度高，立式、卧式、倾斜安装均可适配。

4. 转速连续可调，可根据工艺需求微调腔体压力，适配多种镀膜、分析工况。

5. 安全性能强，完成大气冲击、跌落测试，突发进气工况容错性高；转子动平衡优良，振动低，适配对振动敏感的光学镀膜、表面分析设备。

✅典型应用场景

半导体溅射、电子束蒸镀、光学薄膜镀膜、扫描电镜与 X 射线分析仪器、科研实验高真空腔体、老旧油扩散泵改造替换、轻负载工艺主抽真空系统。