新品到货！Aera FC-R7700 与 FC-R7800 半导体 MFC 质量流量控制器

新品到货！Aera FC-R7700 与 FC-R7800  半导体 MFC  质量流量控制器

半导体产线气体管路选型时，很多工艺工程师会对比 Astemo 安斯泰莫 Aera 的 FC-R7700 与 FC-R7800 两款 MFC。二者同属 Aera 经典 R 系列质量流量控制器，但密封结构、耐受气体、洁净等级与适用制程差异很大，下面一次性理清选型逻辑。

✅基础参数对比

Aera FC-R7700

- 密封形式：橡胶密封

- 流量量程：10sccm～200slm 多档可选

- 精度：≤±1% FS，重复性≤±0.2% FS

- 润湿材质：316L 不锈钢，普通抛光

- 适配气体：N₂、Ar 等惰性气体，非腐蚀性工艺气体

- 接口：常规卡套接口

- 特点：性价比高，安装维护简单，橡胶密封结构，成本友好

Aera FC-R7800

- 密封形式：全金属密封

- 流量量程：10sccm～200slm 多档可选

- 精度：≤±1% FS，重复性≤±0.2% FS

- 润湿材质：316L 不锈钢电解抛光 EP

- 泄漏率：He 检漏≤1×10⁻¹⁰ atm・cc/sec

- 适配气体：惰性气体、卤素类等腐蚀性特种气体

- 接口：VCR 金属密封接口

- 特点：无橡胶件，无有机物析出，低漏率，耐高温，高洁净等级

✅核心差异

1. 密封结构

FC-R7700 采用橡胶密封圈，结构简单、价格更实惠。但橡胶件存在老化风险，不能用于 Cl₂、HBr 等强腐蚀气体，长期高温环境下还可能析出有机物，污染晶圆。

FC-R7800 为全金属密封，没有橡胶密封圈，不存在老化、气体渗透、有机物析出问题，氦检泄漏指标比较好，适配腐蚀性气体与高洁净制程。

2. 流道洁净度与颗粒控制

FC-R7800 内部流道电解抛光 EP，内壁光洁度高，减少气体吸附、颗粒生成，适合刻蚀、ALD 等对颗粒管控严苛的核心制程。

FC-R7700 为普通抛光，满足吹扫、保护气等对洁净度要求中等的辅助工艺。

3. 适用工况与使用时间

FC-R7700 多用于辅助吹扫、载气、保护气等常规惰性气体回路，需要定期检修更换密封圈。

FC-R7800 用于核心制程，腐蚀性气体、高纯气体工艺，长期连续运行稳定性强，维护周期更长。

4. 成本定位

FC-R7700：量产辅助工艺主力，平衡性能与备件采购成本；

FC-R7800：高核心制程专用，采购单价高，用于对泄漏、杂质零容忍场景。