新品到货！我司近期到货ULVAC爱发科全新反应性气体分析仪Qulee RGM2-202

新品到货！我司近期到货ULVAC爱发科全新反应性气体分析仪Qulee RGM2-202

反应性气体分析仪Qulee RGM2-202是"Model:Qulee"中对应蚀刻和CVD等反应性工艺的带有差动排气系统的工艺监控仪。ULVAC的离子源和排气系统结构，具有优良的抗活性气体腐蚀性能，长期稳定测量。

特点

可以在反应过程中长时间进行稳定的测量

采用具有磁场的Claude离子源

软电离可减少在高灵敏度电离室因热反应而产生的分解和吸附，同时气体离解较少

紧凑型流量控制阀

处理室到离子源的距离很短，可以快速响应分辨率

可以测量宽范围的压力10-6 to 13kPa（口径可选）

无需电脑也可以测量

One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）

连接传感器单元时，可以进行120℃的高温烘烤

离子源，二次电子倍增管的预防性维护分析管加载了可追溯性

可进行氦气检漏，漏气测试

标准搭载软件

用途

CVD/ALD/蚀刻设备

监测工艺中的反应气体

蚀刻和清洁工艺的末端监测

残留气体测量

检漏