新品到货！我司到货ULVAC爱发科日本原装反应过程气体监视器Qulee RGM2-201F

新品到货！我司到货ULVAC爱发科日本原装反应过程气体监视器Qulee RGM2-201F

反应过程气体监视器Qulee RGM2-201F是"Model:Qulee"的对应蚀刻、CVD、ALD装置等反应性气体的带差动排气系统的过程监视器。由于ULVAC的离子源和排气系统结构，对反应性气体具有优异的耐腐蚀性，可以长时间稳定测量。

特点

排气系统和控制系统集成，纵向放置，即使在空间有限的生产线上也可以进行反应气体监测。在维护期间，灯丝套件的更换速度大大提高2名工人在10分钟内完成了120分钟的工作。使用双灯丝，即使第一根灯丝断线，也可以在不停止生产线的情况下进行气体分析。采用触摸屏，可以实时检查情况。从启动到测量的操作仅在个人计算机上完成。采用敝公司的带磁铁的Closed Ion Source,即使在反应性过程中也可以长时间稳定测量。由于具有低气体解离和高灵敏度的电离室，因此仅使用法拉第杯就可以进行高灵敏度的气体分析。一种紧凑的流道控制阀，可防止热反应引起的分解和吸附。缩短了从工艺室到离子源的距离，可以快速响应分解。增强预防保护功能，离子源，二次电子倍增管的预防性保护，安装分析管的可追溯性功能，标准软件与Windows 8/10/11兼容。

用途

CVD·ALD·Etching装置

过程中反应气体的监测

蚀刻清洗过程的端点监视器

残余气体测量