EBARA 荏原 EV-M102N 干式真空泵 半导体工艺无油干泵性能与行业应用

EBARA 荏原 EV-M102N 干式真空泵 半导体工艺无油干泵性能与行业应用

EBARA 荏原 EV-M102N 干式真空泵，是荏原面向半导体、光伏、化工工艺推出的无油干式真空泵，在刻蚀、沉积、清洗、废气抽吸等制程广泛配套。干泵无油设计，避免油蒸汽返流污染腔体与晶圆，满足洁净工艺需求，是半导体前道、后道封装产线常用真空设备。

EV-M102N 抽速可达 10000L/min，极限真空 0.5Pa，进气接口 NW40，整机结构紧凑，水冷散热稳定。转子无接触运转，磨损低，保养周期长，减少产线停机维护频次。针对腐蚀性工艺气体，可选用防腐材质方案，适配含氟、含氯废气抽取，配套尾气处理系统使用。

荏原作为日系泵业，干式真空泵、离心泵、化工流程泵产品线齐全，在国内半导体、LCD、锂电、化工园区布局的售后服务网络。EV-M 系列干泵兼顾稳定度、能耗、噪音控制，很多日系原厂设备标配荏原干泵，替换选型、新增产线都可以优先参考。