F-REX300XA高性能和灵活的管理层设备EBARA荏原的操作使用

F-REX300XA高性能和灵活的管理层设备EBARA荏原的操作使用

产品介绍

配备了新开发的高效输送机构和WPH优化算法。 凭借单台、单头和双模块系统等特性，Ebara保持了高度可靠的结构，同时进一步提升了生产力。 通过采用灵活的输送机制和进一步的交叉污染措施，我们有助于提升产量。 此外，采用模块化结构，便于修改和升级，未来功能扩展时能更快引入新功能。

此外，与F-REX300X型号相比，功耗降低了约10%，零件数量减少，导致供应链中的二氧化碳排放低。 我们支持环保的半导体制造。