EBARA荏原干式真空泵非常适合节能、高负载工艺EV-M502N的操作使用

EBARA荏原干式真空泵适合节能、高负载工艺EV-M502N的操作使用

产品介绍

凭借Ebara专有的高温技术，它能够处理半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中高负载的过程，这些过程会产生反应副产物。 凭借高节能性能，同时高负载工艺操作和节能。 排量110,000升/分钟的大排量车型标配耐腐蚀材料。 凭借针对工艺条件量身定制的广泛产品线，能够处理各种高负载工艺。

特点

处理高负载过程

支持高温控制

节能

采用耐腐蚀材料标准

耐腐蚀性改进选项

在不同频率（50/60Hz）下性能相同

无油

兼容CE标志/SEMI-S2/NRTL