ULVAC爱发科COVOT-6-X5一款清洁型多功能真空搬运机器人的操作应用

ULVAC爱发科COVOT-6-X5一款清洁型多功能真空搬运机器人的操作应用

真空传输机器人承担以下角色：真空传输机器人承担以下角色：

・晶圆和基板传输无需手动操作，在保持真空环境的同时高效传输流程。

・高精度定位对传输目标进行精准定位，从而后续工艺流程的精度。

・防止污染在真空环境中，颗粒物和污染物的混入是主要问题。真空传输机器人通过非接触式传输和清洁设计，将这些问题降至较低。

・工艺自动化与效率提升支持连续工艺流程的自动传输，从而缩短处理时间并减少人工成本。

・适应高温和特殊环境在真空环境中，可能会出现温度和压力的波动。真空传输机器人经过设计，可以在这些条件下保持高可靠性并持续工作。

・提高生产力通过利用真空传输机器人，可提升整个工艺流程的生产效率，并灵活应对多品种小批量生产和大规模量产的需求。

特点

有多种臂可供选择，以适应行程、转弯半径、传输板的数量等。

COVOT-CR4 由于其磁流体密封，可在 10-6 Pa 的高真空中使用。