解决放电干扰问题的同步单元EXO-13高频电源系统ULVAC爱发科的操作使用

解决放电干扰问题的同步单元EXO-13高频电源系统ULVAC爱发科的操作使用

该装置设计为高频电源的外部振荡器源。它能够输出13.56MHz的单个频率的额定信号。

此外，本机配备 1~4 个 BNC 输出端口，可为 4 个电源进行同相高频振荡。

*所连接电源的外部输入端子要端接至50Ω,并且能够在10mW至100mW的距离内工作。

特点

多达四个 RF 电源可以同步相位。

通过减少相位簇功能，低成本。

爱发科（ULVAC）提供以下高频电源产品：

内置匹配器的高频电源：RMG

高通用性高频电源系统（RF电源系统）：N系列

丰富的高频电源选项：MEX-N系列 / EXN系列 / PHS-N系列 / EXO系列

此外，我们可靠性作为搭载电源的真空设备中关键的要素。从开发和设计阶段到评估和制造，我们专注于高可靠性。