适用于光学薄膜生产的高通用性电子枪ULVAC爱发科EGO-1G的操作应用

适用于光学薄膜生产的高通用性电子枪ULVAC爱发科EGO-1G的操作应用

这款高度可靠的 EB 喷枪基于 ULVAC 多年的技术，专为光学领域而开发。

特点

由于电子束被电磁场偏转，因此二次电子对沉积体的影响小。

即使是可升华的材料，也可以通过扫描 X 轴和 Y 轴上的光束点来顺利蒸发，从而减少挖洞现象。

电子束是 270° 偏转的，因此不会暴露在蒸发材料的蒸气中，灯丝的使用长。

发射器组件易于安装和拆卸，便于更换灯丝、绝缘体等。

1952年创业时的爱发科，是年轻的技术人员本着"用真空技术为产业和科学的发展做贡献"的初衷。

自成立至今，一直秉承创业精神，除了在液晶平板显示、半导体、电子元件等领域，以及包括汽车、食品、医药品等行业的一般工业设备领域，与客户共享的真空技术，不断创新，创造新的价值。