ULVAC 爱发科 VDN401 干式旋片真空泵 无油工业干式真空机组 今日到货！

ULVAC 爱发科 VDN401 属于 VDN 系列双级油旋片真空泵，日系经典粗抽真空设备，广泛应用半导体、光学镀膜、真空脱气、氦检前置抽气等场景。

50Hz 工况抽气速率 40m³/h（约 670L/min），电机功率 1.5kW，4 极电机，380V 供电；气镇阀关闭极限真空可达 0.67Pa，气镇阀开启 2.0Pa，VG40 标准法兰接口，整机重量 61kg。

采用双级旋片结构，强制供油润滑，即便在高进气压力区间依旧运行稳定；自带气镇阀，可抽取含水汽等可凝性气体，有效抑制泵油乳化，延长保养周期。泵体维护便捷，加油、换油可在同一侧完成，无需拆解管路，降低产线停机维护成本。

常用于溅射镀膜、离子镀、真空干燥、零部件真空脱气、氦质谱检漏前置粗抽、真空吸附搬运。同系列还有 VDN301、VDN602、VDN902 多个型号，覆盖不同抽速需求，适配从小型实验室腔体到量产设备的粗真空获取。