到货！MIYUKI 美幸辉 MGCS-11 真空压力控制器，BAR 蝶阀配套闭环控制单元

到货！MIYUKI 美幸辉 MGCS-11 真空压力控制器，BAR 蝶阀配套闭环控制单元

真空蝶阀选好了，压力控制不稳、震荡超调，多半是控制器匹配问题。日本 MIYUKI 美幸辉 MGCS-11 是 BAR 系列真空蝶阀专属自动压力控制器，构成整套真空闭环稳压系统。

MGCS-11 采集真空规压力信号，自动运算并输出指令驱动 BAR 伺服蝶阀调整开度，快速抑制压力波动。支持多段压力程序设定，可预设多组工艺压力曲线，自动切换制程压力。面板数字显示实时压力、阀开度，自带故障报警输出，方便接入设备 PLC 做联锁保护。

PID 参数可自定义，适配不同腔体容积、抽速工况，避免压力超调震荡。

✅核心优势

1. 专为 BAR 系列真空蝶阀配套，原厂匹配，兼容性稳定

2. 可编程多段工艺压力曲线，满足镀膜分段工艺

3. 实时监测压力 + 阀开度，故障报警输出

4. PID 可调，解决腔体压力震荡、超调问题

📌应用：真空镀膜、等离子工艺、半导体腔体压力闭环控制。

⚠️选型提示

MGCS-11 必须搭配美幸辉 BAR 系列伺服蝶阀使用；不能直接驱动普通气动真空阀。