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更新时间:2026-10-08
浏览次数:7新品到货!宽量程皮拉尼真空计!ULVAC 爱发科 SW100-A 真空压力传感器

镀膜、半导体、FPD、真空热处理设备,需要大范围真空压力监测,ULVAC 爱发科 SW100-A 皮拉尼真空计,属于 G-TRAN 系列,替代老款 SW1-N1,是日系真空行业经典宽量程真空传感器。
测量区间 5×10⁻²~1×10⁵Pa,覆盖粗真空到低真空全段,铂制灯丝,抗腐蚀、抗冲击,传感器头可一键归零校准,维护简单。SW100-A 支持模拟量输出,可设定 2 组压力阈值,到达压力自动输出开关信号,对接 PLC 做工艺联锁控制;SW100-R 版本额外搭载 RS485/RS232 数字通讯,支持电脑集中采集真空数据。
体积小巧,KF 接口安装便捷,可直接安装在真空腔体、管路。长期测量稳定性强,真空工艺压力波动实时反馈,可搭配 ISG1 单通道数显表头,本地直观读取真空数值。
广泛用于溅射镀膜、真空蒸发、热处理炉、真空封装、锂电池真空注液设备,半导体与面板产线真空腔体压力监测,是真空系统标配压力检测元件。
核心参数
型号:SW100-A
测量原理:皮拉尼(Pirani)
测量范围:5×10⁻²~1×10⁵ Pa
灯丝材质:铂 Pt
输出:模拟输出,2 组设定点
通讯:A 型号模拟;R 型号 RS232/485
适用:镀膜、半导体、真空热处理