新品到货！日本 USHIO 牛尾 UXM-501MD 汞氙短弧灯 半导体 UV 清洗光刻光源

新品到货！日本 USHIO 牛尾 UXM-501MD 汞氙短弧灯 半导体 UV 清洗光刻光源

日本 USHIO 牛尾 UXM-501MD 汞氙短弧灯，500W 深紫外点光源，融合汞灯高强紫外峰值与氙灯连续光谱特性，半导体晶圆 UV 清洗、光刻、表面改性制程专用光源。

UXM-501MD 采用汞氙混合填充工艺，在 230~320nm 深紫外波段输出能量突出，电弧间隙仅 3mm，紧凑点光源设计，便于光学系统聚光，大面积均匀辐照。耐高温石英泡壳，精密电极工艺，平均寿命 600 小时，长时间连续产线运行光衰控制稳定。

✅ 额定功率 500W，灯电压 25±2V，点光源结构，聚光性能优异

✅ 深紫外能量强，兼顾连续光谱，适配光化学反应、光刻曝光

✅ 电弧稳定，照度均匀，适合 24 小时不间断半导体产线

✅ 高辐照度输出，晶圆表面 UV 改性、有机物清洗效果好

✅ 适配对应专用直流电源与反光镜组件，日系设备原装替换件

适用场景：半导体晶圆 UV 表面清洗、光刻曝光、FPD 面板制程、MEMS 微器件加工、PCB 精密光刻、新材料光化学合成、薄膜表面改性。