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更新时间:2026-09-08
浏览次数:7新品到货!MDH (12)-4006‑324KE 实际落地应用案例 半导体设备

一、半导体设备(该型号主流应用)
案例 1:晶圆 / 芯片真空吸附旋转检测台
- 工况:真空吸盘固定小尺寸晶圆、IC 载片,360° 旋转做外观 AOI 检测、缺陷扫描;真空管路直接穿过 φ12 中空孔,不用外置滑环,机构高度压缩。
- 选型理由:机身短,整机高度低;零背隙,旋转无回程误差;交叉滚子轴承直接承载真空治具,无需额外轴承座;洁净室兼容。
- 负载参考:吸盘 + 晶圆总负载几十克级别,匹配 4006 扭矩。
案例 2:探针台 / 芯片封装设备 θ 校准轴
- 工况:芯片、探针座微小角度分度对位,小角度高频往复定位。
- 选型理由:1296000P/R 高增量分辨率,角秒级定位;φ12 中空可穿同轴光源,光从电机中心打向芯片工作面。
案例 3:小型涂胶显影附属旋转工位
- 工况:小尺寸基板预旋转调平,管路从中空过,设备腔体内部空间狭小。