TSUBAKI 椿本减速机 蓝宝石晶圆研磨抛光机 TD125S20VRF 到货！

TSUBAKI 椿本减速机 蓝宝石晶圆研磨抛光机 TD125S20VRF 到货！

一、半导体行业案例（椿本 TD 环面蜗轮核心）

案例 1：硅片 / 蓝宝石晶圆研磨抛光机

- 配套型号：TD125S20VRF（TD 环面蜗轮），速比 1/20，中心距 125mmTsubaki Ph...

- 设备工况：晶圆双面研磨、抛光工位，低速连续回转，对盘面转动均匀性要求高，回转抖动会直接造成晶圆表面划痕、良率下降；24 小时产线连续运行。

- 选用原因：环面蜗轮 4‑6.5 齿同时啮合，角度传动误差远小于普通蜗轮、伞齿，回转不均误差约为传统伞齿机构 1/10，转动极度平顺，保障晶圆加工表面质量；可垂直 / 水平多方向安装，适配研磨机紧凑机身，长周期运行维护量低。