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更新时间:2026-09-01
浏览次数:8新品到货!日本 FLUORO 福乐 半导体硅晶片手动晶片夹(机械晶圆镊子)

FLUORO M100‑L / E100‑L 系列机械晶片夹,无需真空泵气源,纯机械式杠杆锁止夹持工具,仅夹持晶圆外缘,不触碰晶圆正面图形区,作为真空吸笔的互补工具,用于 FAB、划片、封测车间、SiC 碳化硅衬底实验室应急取片、样品转运。
两大产品系列
M100‑L 系列 高纯 PEEK 洁净款(普通干态无尘工位)
本色高纯 PEEK 材质,低发尘、低离子析出,无金属零件、无胶水,适配 ISO5‑ISO7 无尘室;适合硅片、化合物半导体衬底常规取样。
E100‑L 系列 导电 PEEK 防静电款(ESD 静电管控产线,半导体主流选用)
碳改性导电 PEEK,表面电阻 10⁶‑10⁸Ω,完整静电泄放通路,防止静电击穿裸片、薄晶圆、SiC 衬底,量产车间优先选型。
耐受温度高 130℃;整机重量约 72‑77g,轻量化,长时间手持作业不易疲劳。
核心结构与产品优势
只夹持晶圆外缘,保护正面图形
两点夹持结构,夹头仅接触晶片侧边,避开晶圆抛光面、光刻图形面;夹口圆弧光学抛光,杜绝划伤晶片,降低颗粒污染风险。
杠杆棘轮锁止机构(核心特点)
夹紧后棘轮锁定夹持力度,手松开也保持夹紧,不需要一直用力捏住;搬运中不会松脱滑落;夹持力恒定,减少人手力度差异带来碎片风险。
无气源、无需真空泵
区别于真空吸笔,不用配套 FV 真空泵,停电、设备故障的场景下,作为应急取片工具;实验室抽检、机台旁临时转移十分便捷。
无尘、防静电、低析出
无金属嵌件,不会产生金属离子污染;导电款完整防静电,保护静电敏感器件;可以用于硅片、SiC 碳化硅、GaN/GaAs 化合物衬底。
耐用易维护
夹爪为消耗件,可单独更换夹爪,不需要整体更换整支晶片夹,降低运维成本。