新品到货！荏原计器 EBARA KEIKI 自动记录压力表 半导体行业能用到吗？

新品到货！荏原计器 EBARA KEIKI 自动记录压力表 半导体行业能用到吗？

荏原计器EBARA KEIKI的自动记录压力表‌可以在半导体制造场景中使用‌，且该品牌本身就有面向半导体行业的压力测量仪器产品线。

核心适配依据

‌半导体专用产品线‌：荏原计器明确推出了面向半导体行业的压力测量仪器，可覆盖半导体制造中的气体供应系统、湿法工艺、空调系统等关键环节的压力监测需求‌。

‌半导体传感器技术应用‌：该品牌的压力传感器类产品，采用了性能优良的扩散性半导体传感器，是自主研发的核心部件，为自动记录压力表的高精度测量提供了技术基础。

‌记录型产品特性匹配‌：其自动记录压力表可通过圆形记录纸长时间连续记录压力变化，能满足半导体产线对工艺压力数据全程可追溯的管控要求。

适用场景说明

这类自动记录压力表适合半导体工厂的辅助动力、公用工程管路等对记录连续性要求高的场景；而晶圆制造环节的高真空、高精度压力监测，荏原也有配套的EGC系列真空计控制器等专用产品，可覆盖10~1500mbar的全真空量程。