新品到货！ULVAC爱发科 摆动阀 VFR-500 大型摆动阀(门阀)

新品到货！ULVAC爱发科 摆动阀 VFR-500 大型摆动阀(门阀)

是基于ULVAC的技术开发的大型摆动阀(门阀)。

可对应显示器成膜设备等大型真空设备。

特点

ULVAC的技术

采用的密封机构和反向压力减少机构，不是使用机械锁定机构

很少采用会导致partical产生的滑动部件

在打开/关闭或密封时没有冲击（振动）

良好的维护性

无需从设备或泵上拆下整个阀门即可单独拆下阀壳

可以在壳体移除后，仅移除一个螺栓来移除整个阀体单元

可任意选择安装方向

VFR系列安装方向360度自由

用途

大型显示制造设备

有机EL制造设备

其他真空设备的主阀・分阀