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更新时间:2026-07-20
浏览次数:21新品发布!步进电动机使设备小型化αSTEP AR 系列日本东方马达orientalmotor

真空型电动机的特征与结构

为了抑制气体释放,电动机外壳使用铝、不锈钢材质,表面不涂装。 此外,轴承使用真空用润滑油。
释放的气体与通常洁净环境下的成分相同,因此无须担心污染真空环境。
使用可承受热处理温度的耐热用线圈。
真空型电动机的优点
使设备小型化,扩大设计的自由度
在大气中设置电动机时,需使用传动机构等,设备体积会变大。 真空型电动机可将设置于真空环境内,因此可让设备小型化。 此外,αSTEP AR 系列不需要位置确认用传感器,有助于降低成本。


使用αSTEP AR 系列,无需编码器即可进行位置监控
αSTEP AR 系列除了通过闭环控制监视电动机信息外,还搭载各种Alarm输出功能。 不需要真空对应型的昂贵编码器。

搭载转子位置检测传感器,可检测电动机信息并控制电动机。
在真空中各种运动
常用于各式各样的用途,如半导体制造设备及电子显微镜的测量机器等。