新品现货！ULVAC爱发科可搬运多片晶圆的高吞吐量真空传送机器人COVOT-6-X5

新品现货！ULVAC爱发科可搬运多片晶圆的高吞吐量真空传送机器人COVOT-6-X5

真空传输机器人是一种专为在真空环境中高效、精准地执行传输任务而设计的设备。它是支持真空工艺质量和效率的重要因素，广泛应用于半导体制造设备、涂层设备、分析仪器等多个领域。

特别是用于半导体制造设备的真空传输机器人，与大气传输机器人不同，需要具备高气密性和摩擦的调校。此外，以下性能要求尤为重要：

・高可靠性：即使长时间运行也能保持稳定的操作。

・防尘性：设计上防止颗粒附着在晶圆表面。

・高速性：快速操作以提高生产效率。

具备这些性能的真空传输机器人有助于提升制造过程的效率，高质量产品的生产。

真空传输机器人承担以下角色：真空传输机器人承担以下角色：

・晶圆和基板传输无需手动操作，在保持真空环境的同时高效传输流程。

・高精度定位对传输目标进行精准定位，从而后续工艺流程的精度。

・防止污染在真空环境中，颗粒物和污染物的混入是主要问题。真空传输机器人通过非接触式传输和清洁设计，将这些问题降低。

・工艺自动化与效率提升支持连续工艺流程的自动传输，从而缩短处理时间并减少人工成本。

・适应高温和特殊环境在真空环境中，可能会出现温度和压力的波动。真空传输机器人经过设计，可以在这些条件下保持高可靠性并持续工作。

・提高生产力通过利用真空传输机器人，可提升整个工艺流程的生产效率，并灵活应对多品种小批量生产和大规模量产的需求。

特点

有多种臂可供选择，以适应行程、转弯半径、传输板的数量等。

COVOT-CR4 由于其磁流体密封，可在 10-6 Pa 的高真空中使用。