新到现货！ULVAC爱发科传感器型皮拉尼真空计SP1灯丝使用耐腐蚀材料铂

传感器单元(SP1)是"Model:G-TRAN"的皮拉尼真空计测量单元。「测定子和电路一体型(测定子可以更换)」结构，能够降低成本和节省空间。

特点

传感器规格：如果不需要压力指示器

・真空计成降低

・控制板空间节省

・配线简化

测定子更换容易

灯丝使用耐腐蚀材料铂

到目前为止使用的测量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用

可以输出2个设定点

SP1：压力为0至5 V输出（非线性输出）

电源电压：24 VDC输入

用途

用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制

用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制

用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制