近期到货！涡旋式干泵两阶段DIS-501低振动低噪音ULVAC爱发科

近期到货！涡旋式干泵两阶段DIS-501低振动低噪音ULVAC爱发科

•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。

•可在大气压下操作运行。

•可高极限真空。

•低振动低噪音。

•维护周期可通过计时表控制。

特点

结构紧凑，排气量大。

干式真空泵的压力水平。

内置自动复位型热保护器（单相用）安全设计。

通过空气冲洗抑制水分凝结。

用途

分析设备

气体回收系统

涂装设备

TMP的背泵

氦气检漏仪

半导体制造工艺

使用上的注意

１粉末和生成物吸入会导致泵损坏。请使用吸气阱。

２吸入有害气体如爆炸性气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。

３三相规格没有电机保护功能。请务必安装保护装置，如漏电断路器。