新品发布！我司到货ULVAC爱发科可靠性和稳定性的双阴极支持LF电源SG-10-4

新品发布！我司到货ULVAC爱发科可靠性和稳定性的双阴极支持LF电源SG-10-4

它专为等离子体生成而设计，例如 LF 电源、双阴极溅射、等离子体CVD等，并且可以连续输出20kHz至100kHz频率的额定功率，用于等离子体负载。它是一种高度可靠的电源，通过在设计中体现我们多年的专业知识，包括电源的应用，适合等离子负载。

特点

您可以以1kHz为增量从20kHz到100kHz设置振荡频率。 *1

可以在不改变变压器抽头的情况下输出到规格的输出范围。

可进行脉冲输出控制。

外部模拟控制、控制器控制等是标准设备，可通过 OPTION 进行S232C、RS485和EtherCAT等各种控制。

*1：输出电压/电流根据频率设定条件有限制。