新品发布！我司近期到货实验室_用于金属的EB源_EGK系列ULVAC爱发科EGK-3

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EGK-3 电子束蒸发源是 ULVAC 多年技术积累的结果，旨在提高性能和可靠性。

该蒸发源有一个输入功率为 5 kW 的炉膛。

坩埚容量为 2.6cc，适用于实验和小规模生产。

特点

采用 2.6cc 炉膛使其适合小规模生产。

由于电子束被电磁场偏转，因此二次电子对沉积体的影响小。

即使是可升华材料，也可以通过在 X 轴和 Y 轴方向扫描光束点来减少局部钻孔现象，并且可以顺利蒸发整个坩埚。

电子束偏转 225°，因此不会暴露在蒸发材料的蒸气中，灯丝使用长。

发射器组件易于安装和拆卸，便于更换灯丝、绝缘体等。