新品发布！我司近期到货可折射率的分光椭偏仪ULVAC爱发科UNECS-2000A

新品发布！我司近期到货可折射率的分光椭偏仪ULVAC爱发科UNECS-2000A

"Model:UNECS"是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用的测量方式，高速测量和机体的小型化。UNECS-2000A采用自动R-θ平台和自动对焦功能，可快速自动测量整个φ200mm样品表面的膜厚，并以彩色图显示膜厚分布。

特点

高速测定：快照方法可达20 ms的高速测量。

适用于可见光谱：波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。

紧凑型传感器单元：光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此轻且紧凑，并且不需要定期维护。

200mm自动载物台：配备兼容φ200mm的R-θ自动载物台，并具备自动对焦功能，可基板表面的自动映射测量。

波长范围： 530～750nm、380～760nm（选择）

点径： Φ1mm、Φ0.3mm（选择）

入射角度 ：70°固定

膜厚再现性： 1σ = 0.1ｎｍ

膜厚范围 ：1nm ～ 2μｍ

测量时间受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms