新品发布！我司近期到货ULVAC爱发科日本进口多级罗茨型干泵GR90

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多级罗茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。在FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高良率和可维护性。代表性的泵之一是罗茨式干真空泵。多级罗茨式干真空泵在称为外壳的盒子内有两个三叶转子，它们通过一对齿轮以相同频率沿相反方向旋转。转子彼此不接触，或者转子与壳体不接触，并且在保持小间隙的同时旋转以传送和压缩气体。转子具有多级结构，将其压缩至大气压，并将其排放到大气中。转子外壳内不使用油或其他密封液体，可清洁排气。齿轮和轴承使用油进行润滑，但设计了密封结构以防止油进入壳体。

特点

可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。

适用load lock室（装载/卸载室），可高吞吐量。

感应电机可通用。

可以安装防爆电机等特殊电机（可选）。

采用多电压兼容电机。

用途

空气、惰性气体等洁净气体的真空排气

各种成膜设备放入取出室的真空排气

真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业

真空气体置换，如真空热隔绝和气体填充

排气速度曲线