新品发布！我司近期到货ULVAC爱发科日本原装新型工艺气体分析仪CGM-051

新品发布！我司近期到货ULVAC爱发科日本原装新型工艺气体分析仪CGM-051

新型工艺气体分析仪(RGA)，高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。来自不同生产线的设备工程师的反馈被纳入产品的设计中，适合溅射设备的工艺管理（提高品质、提高良率）。

特点

适用于各种溅射系统的工艺监控

Air Leak监控

残留水分管理

无需差动排气系统

内置显示屏：无需PC可单独操作使用

可进行高灵敏度泄漏测试

可进行全压测定

操作简单-One Click功能

标配Qulee QCS软件

支持CE标准

用途

适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H2O)。

用于溅射设备的泄漏测试