新品到货！我司近期到货ULVAC爱发科日本到货分光椭偏仪UNECS-1500M

新品到货！我司近期到货ULVAC爱发科日本到货分光椭偏仪UNECS-1500M

"Model:UNECS"是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用测量方式，高速测量和机体的小型化。UNECS-1500M装备有操作性好的对应Φ150mm的手动式R-θstage，易于定位测量位置。

特点

高速测定：快照方法可高达20 ms的高速测量。

适用于可见光谱：波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。

紧凑型传感器单元：光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。

150mm手动载物台：配备兼容φ150mm的手动R-θ载物台，可轻松进行测量定位。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量

规格

波长范围：530～750nm、380～760nm（选择）

点径：Φ1mm、Φ0.3mm（选择）

入射角度：70°固定

膜厚再现性：1σ = 0.1ｎｍ

膜厚范围：1nm～2μｍ

测量时间：受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms

平台：Φ150mm手动式R-θ平台

控制PC：笔记本类型（带操作/分析软件）

机器构成：测量本体（手动平台、控制器BOX付き）光源单元、操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD）