ULVAC 爱发科 GI-M2 真空计，宽量程热阴极电离真空计测量单元

真空腔体压力监测是真空镀膜、溅射、半导体工艺的基础环节，高真空区间普通皮拉尼真空计量程不足，ULVAC 爱发科 GI-M2 热阴极电离真空计，用于高真空测量。

GI-M2 搭配电离规管，测量区间覆盖高真空范围，读数稳定，响应速度快，可对接真空控制器，联动泵组启停、工艺互锁，很多溅射台、蒸镀设备、真空热处理炉都在使用。爱发科整套真空测控生态，规管、控制器、阀门、真空泵可以整套配套，通讯对接顺畅。

热阴极电离规有灯丝，不能在大气状态长时间通电，控制逻辑上做好互锁，压力高于阈值时自动关闭灯丝，防止烧毁规管；灯丝属于消耗件，到达寿命周期需要定期更换。针对高真空工艺精准测压，GI-M2 是日系成熟方案。