ULVAC 爱发科 HELIOT904D3R 氦质谱检漏仪 干式泵版本，大容积工件检漏

ULVAC 爱发科是真空行业，氦检仪 HELIOT 900 系列在国内新能源、制冷、半导体、汽车零部件行业认可度高，HELIOT904D3R 是搭载干式泵的移动款，适合最大 50L 容积工件气密性检测。

HELIOT904D3R 采用干式辅助泵，没有真空泵油，不会存在返油污染工件的风险，对于锂电池水冷板、半导体腔体、精密制冷组件、医疗密封器件尤其友好。Ultra 模式氦抽速可达 5L/s，本底下降速度快，大幅缩短单件检测节拍，大批量产线可以有效提升产能。

设备支持氦气、氢气双气体检测，除了传统氦检，也可以使用氢气示踪做低成本检漏方案。主机搭配独立平板控制器，无线遥控操作，屏幕直观，测试曲线、泄漏数值实时展示；维护面板免工具拆卸，检修内部组件效率高，产线停机维护时间缩短。

它自带移动推车，适合在产线不同工位流转，既可以固定在线使用，也可以拿去实验室、返修区检测不良件。小可检测泄漏率低至 0.01×10⁻¹² Pa・m³/s，微小漏点稳定捕捉，满足汽车热管理、储能水冷件严苛的气密性标准。很多客户对比之后，选择干式版本规避油污染风险。

很多工程师选型纠结油式和干式氦检仪：油泵价格更低，但有返油隐患，对于不能沾油的工件，干式版本长期风险低。HELIOT904D3R 就是面向这类密封件产线打造，原厂配套丰富， sniff 嗅探组件、标准漏孔、工装接口都可以选配，技术团队可以协助搭建整套检漏工位方案。