日本 ULVAC 爱发科 HELIOT MONO 氦质谱检漏仪｜自动化产线集成式氦检设备

HELIOT MONO 定位集成配套，机身紧凑，体积小巧，方便直接安装在自动化工装、检测工位内部，区别于传统落地式大型氦检仪。支持自动检漏流程，具备 RS485 通信接口，可以对接 PLC、上位机，自动触发、判定 OK/NG、上传检漏数据，适配大批量产线在线检测，满足制程追溯要求。

检漏灵敏度高，可检出微小漏孔，满足动力电池水冷板、阀块、真空腔体、制冷管路、MEMS 器件严苛气密标准；支持两种检漏模式：喷氦法、吸枪法，根据工件结构灵活切换。

选型区分：HELIOT MONO 适合产线自动化集成；HELIOT900 系列是大型台式机型，适合实验室抽检、离线检测；如果是半导体晶圆工艺检漏，需要匹配爱发科专用检漏机型。

应用场景：新能源水冷板气密性检测、空调压缩机氦检、液压阀体泄漏检测、半导体封装外壳检漏、真空零部件出厂检测。

ULVAC 爱发科氦检产品在国内新能源、制冷行业渗透率很高，很多头部电池、压缩机产线氦检工位标配爱发科检漏设备，稳定性强，长期漂移小，校准周期长，减少产线停机校准频次。