ULVAC 爱发科 LS300A 干式真空泵特点，半导体洁净无油干泵选型指南

ULVAC 爱发科 LS300A 是 LS 系列干式真空泵，无油结构，不会向真空腔体释放油污，是半导体、OLED、锂电材料、光学镀膜洁净产线的干泵型号。

LS300A 抽速 300m³/h，风冷结构，低释气，适配洁净车间，可搭配罗茨泵组成真空机组，用于晶圆工艺、溅射设备、真空封装、锂电脱气。干式泵优势就是无油污染，避免油污污染芯片、光学膜层，保证良率。

LS 系列还有 LS120A、LS600A、LS1200A，抽速从小到大覆盖不同腔体。腐蚀工艺（含酸碱、卤素气体）需要选用防腐版本，标准 LS300A 不适合强腐蚀气体工况。

很多工程师纠结 GLD 油泵和 LS 干泵怎么选：普通实验室、非洁净、无贵重样品选 GLD；半导体、光学镀膜、锂电、对腔体洁净度要求高，优先 LS300A 这类干式泵。