ULVAC 爱发科 GHD-101D 油旋片真空泵特点｜半导体真空排气选型科普

半导体、镀膜、真空热处理、冻干、真空包装、实验室真空腔体，都需要稳定的油旋片真空泵，日本 ULVAC 爱发科 GHD-101D 是工业圈的旋片真空泵型号。

GHD 系列亮点是磁性联轴器结构，隔离泵体与电机，从根源避免漏油问题，很多普通旋片泵长期使用轴封老化渗油，污染腔体、污染工艺产品，而 GHD-101D 无轴封结构，大幅降低漏油风险，对洁净度敏感的工艺友好。同时自带防返油设计，停机之后油不会倒灌进入真空腔体，保护腔体内工件、镀膜基板。

极限真空度稳定，抽速匹配中小型真空腔体，适配溅射设备、蒸发镀膜、真空干燥、样品前处理、小型 CVD 设备前置粗抽。泵体运行噪音控制优秀，震动小，适合洁净车间、实验室使用。

保养方面，定期更换真空油、油过滤器，维护流程简单；相比国产旋片泵，爱发科 GHD 系列油的劣化速度慢，换油周期更长，长期运维成本可控。

选型区分：GHD-031B 是小规格版本，GHD-101D 抽速大，腔体容积大、抽气需求高选 101D。如果工艺含有腐蚀性气体、粉尘，不能直接使用油旋片泵，要选用 ULVAC 干式真空泵系列。

ULVAC 爱发科是真空设备，从真空泵、真空计到镀膜刻蚀设备全链条布局，GHD 系列旋片泵是国内真空设备集成商、科研院所、半导体配套常用的日系真空粗抽泵之一。