ULVAC 日本爱发科 G-TRAN SP1 皮拉尼真空计｜半导体设备真空压力监测传感器

ULVAC（日本爱发科，アルバック），作为真空行业企业，自创立以来真空基础技术六十余年，业务覆盖半导体、光学镀膜、真空热处理、新能源等制造领域。从大型成膜设备、干式真空泵，到各类真空测量传感器，构建完整真空产业链，是真空工艺设备核心零部件主流供应商。

G-TRAN SP1 属于爱发科经典一体化皮拉尼真空计，属于 G-TRAN 模块化真空计产品线，将传感探头与信号电路集成一体，用于低真空区间压力实时监测，广泛配套溅射、蒸镀、真空炉、清洗设备等各类真空腔体，在半导体与光学产线拥有大量长期应用实绩。

G-TRAN SP1 真空计核心优势

1. 模块化一体化设计，节省控制柜空间

把传感器与驱动电路整合在一个单元，省去独立显示控制器，减少布线，设备集成改造方便，适合腔体内空间紧凑的镀膜设备。

2. 铂丝热敏传感，抗腐蚀、寿命长

采用铂材质灯丝，耐工艺气体腐蚀，对比普通钨丝探头，在含有油气、轻微腐蚀性气体工况下稳定性强，延长传感器使用寿命。

3. 标准模拟信号输出，适配 PLC 控制系统

DC24V 供电，0~5V 对数压力输出，内置 2 组压力设定点，可直接接入设备 PLC，真空压力联锁、报警与工艺闭环控制。

4. 探头可单独更换，维护成本可控

SP1 主机可搭配 WP 系列传感器头（WP-01/WP-02/WP-16），探头老化后单独更换传感器，无需更换整个真空计，降低维保支出。

5. 测量区间稳定，工艺重复性好

测量范围覆盖 3000Pa~0.4Pa，匹配镀膜、真空热处理等中低真空工艺，压力检测一致性高，保障薄膜工艺良率稳定。

产品应用行业

✅ 半导体溅射、蒸镀、晶圆真空处理设备

✅ 光学薄膜、光学镜片真空镀膜机

✅ 真空热处理炉、真空钎焊炉、真空干燥设备

✅ MEMS 器件、电子元器件真空加工产线

✅ 科研实验室真空系统、理化真空试验平台